原子力显微镜(atomic force microscope,简称AFM),也称扫描力显微镜(scanning force microscope,SFM)是一种纳米级高分辨的扫描探针显微镜,优于光学衍射极限1000倍。原子力显微镜的前身是扫描隧道显微镜,是由IBM苏黎士研究实验室的海因里希·罗雷尔(Heinrich Rohrer)和格尔德·宾宁(Gerd Binnig)在上世纪80年代早期发明的,他们之后因此获得1986年的诺贝尔物理学奖。
格尔德·宾宁、魁特(Calvin Quate)和格勃(Gerber)于1986年发明第一台原子力显微镜,而第一台商业化原子力显微镜于1989年生产的。AFM是在纳米尺度操作材料,及其成像和测量最重要的工具。信息是通过微悬臂感受和悬臂上尖细探针的表面的“感觉”来收集的,而压电元件可以控制样品或扫描器非常精确的微小移动,用导电悬臂(cantilever)和导电原子力显微镜附件则可以测量样品的电流偏压;更高级的仪器则可以测试探针上的电流来测试样品的电导率或下表面的电子的移动,不...