词条 化学气相沉积

化学气相沉积

化学气相沉积英语:Chemical Vapor Deposition,简称CVD)是一种用来产生纯度高、性能好的固态材料的化学技术。半导体产业使用此技术来成长薄膜。典型的CVD工艺是将晶圆(基底)暴露在一种或多种不同的前趋物下,在基底表面发生化学反应或/及化学分解来产生欲沉积的薄膜。反应过程中通常也会伴随地产生不同的副产品,但大多会随着气流被带走,而不会留在反应腔(Reaction chamber)中。

微制程大都使用CVD技术来沉积不同形式的材料,包括单晶、多晶、非晶及外延材料。这些材料有硅、碳纤维、碳奈米纤维、奈米线、奈米碳管、SiO2、硅锗、钨、硅碳、氮化硅、氮氧化硅及各种不同的high-k介质英语High-κ dielectric等材料。CVD制程也常用来生成合成钻石。

化学气相沉积相关文献
沉积物
河流或溪流的沉积物运送沉积物的最低速度一个流体要运送沉积物,流体所施加的床面剪应力一定要比床面临界剪应力大。超过此临界的应力后,沉积物运送的方法则由沉积物与流体的特性有关。如果一个流体如水正流动,她可以携带混悬剂。沉降速度为水流要达到运送堆积物、沉积物及低浓度的混悬剂的最低速度,用史托克定律(Stokes"Law)列出如下:而w为沉降速度,ρ为密度(下标符号p及f分别地为微粒及流体),g为自由落体的加速度,r为微粒半径而μ为流体动力黏度。此方程式只适用于微粒的雷诺数(Reynold"snumbers)<1。沉积物的跳跃运动如流动速度比沉降速度大,沉积物就会用"悬浮负载"的方式运送到下游。由于在水流的沉积物的大小波幅大,部分大体积的沉积物会在河床或溪床坐落下来,但是仍保持向下游前进。这些沉积物被称为"推移质"或"底沙"(bedload),而沉积物所经历的过程则称为“跳跃运动”(saltati...
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相对论量子化学
历史1935年开始,伯莎·斯威尔斯(BerthaSwirles)提出了多电子体系的相对性处理方法,尽管保罗·狄拉克于1929年在文章中如此提到:原先理论化学家基本上同意狄拉克的看法,然而1970年代人们开始认识到重元素的相对论效应。1926年,在那篇著名的文献中,奥地利量子物理大师薛定谔提出了不考虑相对论的薛定谔方程。科学家对薛定谔方程作了相对论性的修正(参见克莱因-戈尔登方程),以解释原子光谱的精细结构,然而这类修正并没有很快融入化学研究中,因为原子谱线主要属于物理学而不是化学。多数化学家对相对论量子力学并不熟悉,而且当时化学研究的重点是有机化学(主要是典型的轻元素)。狄拉克的观点(相对论量子力学在化学中所扮演的角色)是错误的,有两个原因:首先是s轨道和p轨道中的电子速度可与光速相比拟,其次是相对论效应对d轨道和f轨道的间接影响十分显著。正因为这种错误的观点,相对论量子化学在几十年里始终...
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沉积岩
成因风化的岩石颗粒,经大气、水流,到一定地点沉积下来,受到高压的成岩作用,逐渐形成岩石。沉积岩保留了许多地球的历史信息,包括有古代动植物化石,沉积岩的层理有地球气候环境变化的信息。风化侵蚀:在河流上、中游两岸的大岩石,经年累月被侵蚀、风化或直接被河水切割后,逐渐崩解成碎块或更小的沙、泥碎屑。搬运:崩解、被切割下来的岩石碎屑,被河水从上游往下游搬移。堆积:河流的流速向下游逐渐减缓,搬运能力也越来越小,因此,河中岩石碎屑便一路沉积下来。由上游、下游到海底,分别是“砾石层”、“砂层”、“泥层”。此外,由珊瑚、藻类等生物所堆积形成的,便是“珊瑚礁石层”。压密:由于新的层积物不断堆压在旧的上面,时间一久,底下的沉积物便会被压得紧密结实。胶结:密实的沉积物依然有许多孔隙。当地下水流经这些孔隙,带来的矿物质将孔隙一一填满,同时将岩石碎屑颗粒紧紧胶黏再一起。露出:堆积在海底的沉积岩层在板块的推挤下露出地表...
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沉积相
外部链接沉积相课程
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沉积学
参见沉积岩沉积相地层学地质学地球科学
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半导体器件制造
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化学工业
玻璃涂层与表面改性
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北漍相氏宗谱[8卷]
原书: [出版地不详] : 余庆堂, 公元2011年续修. 8册: 插图, 人像, 肖像, 世系表. 收藏者: 太原寻源姓氏文化研究中心. 丹阳祖: (宋) 相国材,字世显. 世居西河, 于靖康间迁居丹阳. 始祖(1世): (明) 相哲夫,字慧生(为澄锡二支始祖, 世居丹阳梦溪) ; 相哲人(徙居武进). 均为国材公20世孙相景杨之子. 哲夫公派下江阴始迁祖(6世): (清) 相瑞修(大房) ; 相懋修(二房) ; 相聿修(三房) ; 相慎修(四房) ; 相纯修(五房). 兄弟五人由润之丹阳梦溪徙居江阴东南乡长泾镇小坝桥, 名曰相圩里. 哲人公派下支祖: 相赞臣,讳尔格(2世, 徙居锡之胶南) ; 相廷诤( 4世,分居胶北). 散居地: 江苏省江阴县, 无锡县等地. 书名据书衣题编目. 书名页题, 及版心题: 相氏宗谱.
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北漍相氏宗谱[8卷]
原书: [出版地不详] : 余庆堂, 公元2011年续修. 8册: 插图, 人像, 肖像, 世系表. 收藏者: 太原寻源姓氏文化研究中心. 丹阳祖: (宋) 相国材,字世显. 世居西河, 于靖康间迁居丹阳. 始祖(1世): (明) 相哲夫,字慧生(为澄锡二支始祖, 世居丹阳梦溪) ; 相哲人(徙居武进). 均为国材公20世孙相景杨之子. 哲夫公派下江阴始迁祖(6世): (清) 相瑞修(大房) ; 相懋修(二房) ; 相聿修(三房) ; 相慎修(四房) ; 相纯修(五房). 兄弟五人由润之丹阳梦溪徙居江阴东南乡长泾镇小坝桥, 名曰相圩里. 哲人公派下支祖: 相赞臣,讳尔格(2世, 徙居锡之胶南) ; 相廷诤( 4世,分居胶北). 散居地: 江苏省江阴县, 无锡县等地. 书名据书衣题编目. 书名页题, 及版心题: 相氏宗谱.
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北漍相氏宗谱[8卷]
原书: [出版地不详] : 余庆堂, 公元2011年续修. 8册: 插图, 人像, 肖像, 世系表. 收藏者: 太原寻源姓氏文化研究中心. 丹阳祖: (宋) 相国材,字世显. 世居西河, 于靖康间迁居丹阳. 始祖(1世): (明) 相哲夫,字慧生(为澄锡二支始祖, 世居丹阳梦溪) ; 相哲人(徙居武进). 均为国材公20世孙相景杨之子. 哲夫公派下江阴始迁祖(6世): (清) 相瑞修(大房) ; 相懋修(二房) ; 相聿修(三房) ; 相慎修(四房) ; 相纯修(五房). 兄弟五人由润之丹阳梦溪徙居江阴东南乡长泾镇小坝桥, 名曰相圩里. 哲人公派下支祖: 相赞臣,讳尔格(2世, 徙居锡之胶南) ; 相廷诤( 4世,分居胶北). 散居地: 江苏省江阴县, 无锡县等地. 书名据书衣题编目. 书名页题, 及版心题: 相氏宗谱.
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北漍相氏宗谱[8卷]
原书: [出版地不详] : 余庆堂, 公元2011年续修. 8册: 插图, 人像, 肖像, 世系表. 收藏者: 太原寻源姓氏文化研究中心. 丹阳祖: (宋) 相国材,字世显. 世居西河, 于靖康间迁居丹阳. 始祖(1世): (明) 相哲夫,字慧生(为澄锡二支始祖, 世居丹阳梦溪) ; 相哲人(徙居武进). 均为国材公20世孙相景杨之子. 哲夫公派下江阴始迁祖(6世): (清) 相瑞修(大房) ; 相懋修(二房) ; 相聿修(三房) ; 相慎修(四房) ; 相纯修(五房). 兄弟五人由润之丹阳梦溪徙居江阴东南乡长泾镇小坝桥, 名曰相圩里. 哲人公派下支祖: 相赞臣,讳尔格(2世, 徙居锡之胶南) ; 相廷诤( 4世,分居胶北). 散居地: 江苏省江阴县, 无锡县等地. 书名据书衣题编目. 书名页题, 及版心题: 相氏宗谱.
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北漍相氏宗谱[8卷]
原书: [出版地不详] : 余庆堂, 公元2011年续修. 8册: 插图, 人像, 肖像, 世系表. 收藏者: 太原寻源姓氏文化研究中心. 丹阳祖: (宋) 相国材,字世显. 世居西河, 于靖康间迁居丹阳. 始祖(1世): (明) 相哲夫,字慧生(为澄锡二支始祖, 世居丹阳梦溪) ; 相哲人(徙居武进). 均为国材公20世孙相景杨之子. 哲夫公派下江阴始迁祖(6世): (清) 相瑞修(大房) ; 相懋修(二房) ; 相聿修(三房) ; 相慎修(四房) ; 相纯修(五房). 兄弟五人由润之丹阳梦溪徙居江阴东南乡长泾镇小坝桥, 名曰相圩里. 哲人公派下支祖: 相赞臣,讳尔格(2世, 徙居锡之胶南) ; 相廷诤( 4世,分居胶北). 散居地: 江苏省江阴县, 无锡县等地. 书名据书衣题编目. 书名页题, 及版心题: 相氏宗谱.
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原书: [出版地不详] : 余庆堂, 公元2011年续修. 8册: 插图, 人像, 肖像, 世系表. 收藏者: 太原寻源姓氏文化研究中心. 丹阳祖: (宋) 相国材,字世显. 世居西河, 于靖康间迁居丹阳. 始祖(1世): (明) 相哲夫,字慧生(为澄锡二支始祖, 世居丹阳梦溪) ; 相哲人(徙居武进). 均为国材公20世孙相景杨之子. 哲夫公派下江阴始迁祖(6世): (清) 相瑞修(大房) ; 相懋修(二房) ; 相聿修(三房) ; 相慎修(四房) ; 相纯修(五房). 兄弟五人由润之丹阳梦溪徙居江阴东南乡长泾镇小坝桥, 名曰相圩里. 哲人公派下支祖: 相赞臣,讳尔格(2世, 徙居锡之胶南) ; 相廷诤( 4世,分居胶北). 散居地: 江苏省江阴县, 无锡县等地. 书名据书衣题编目. 书名页题, 及版心题: 相氏宗谱.
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